便攜式激光干涉儀器可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表,，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,，精確的補償,，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

SJ6000便攜式激光干涉儀器配置主要由SJ6000主機,、EC20環(huán)境補償單元,、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量,。其中，線性測量包括定位精度測量,、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等,。線性鏡組可以針對不同方向的運動軸而搭建相應(yīng)的測量光路。

直線度測量參數(shù)

系統(tǒng)主要組件

1,、激光主機

準確——激光頻率穩(wěn)定度高,，可溯源至國家標準。

主機由DC12V電源適配器供電,，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作,。

支持USB通信接口，可與計算機高速通信,，兼容USB3.0接口和USB2.0接口,。

配備的SCSI接口,，可提供外部觸發(fā)信號輸入和正交信號輸出,，以及其它擴展應(yīng)用,。

2,、EC20環(huán)境補償單元

可靠——對空氣溫度,、濕度,、氣壓和材料溫度進行自動環(huán)境補償,。

激光干涉儀是以激光波長為載體,，測量過程中環(huán)境條件（空氣溫度,、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長,。

EC20環(huán)境補償單元可實時檢測環(huán)境條件的變化,，同事進行激光波長補償。

EC20環(huán)境補償單元可連接三個材料溫度探頭,，監(jiān)測被測對象其材料的溫度變化,，同事進行材料的熱膨脹補償。

EC20環(huán)境補償單元采用低功耗設(shè)計,，無需額外的供電電源,，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現(xiàn)場使用,，EC20環(huán)境補償單元配備磁性掛板,，溫度探頭的標準線長5m，亦可定制線長,。

3,、三腳架及便攜箱